發布日期：05. 2020 年 10 月更新日期： 2024 年 10 月 7 日
解決半導體製造設備的常見問題（預處理）
晶圓清洗機械
清洗工藝
需要部件防腐蝕
可以選擇具有優異耐化學性的螺釘，以承受使用化學品的設備內的環境。
特殊螺絲所需的特性：耐化學性
|
耐化學性 |
耐熱性 |
非磁性 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|---|
|
樹脂螺絲 |
○ |
|||
|
SUS316L螺絲 |
○ |
○ |
○ |
|
|
哈氏合金＊1螺絲 |
○ |
○ |
||
|
陶瓷螺絲 |
○ |
○ |
||
|
Vespel ＊2螺絲 |
○ |
○ |
||
|
頭部 PFA 塗層螺絲 |
○ |
＊1：Hastelloy是Haynes International, Inc.的註冊商標。
＊2：VESPEL是杜邦公司的註冊商標。
氧化/擴散設備
熱處理/氧化/擴散工藝
需要耐高溫和耐化學品
對於在高溫下使用各種氣體的環境，請選擇耐熱性和耐化學性優異的螺釘。
特殊螺絲所需的特性：耐熱性 耐化學性
|
耐熱性 |
耐化學性 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|
|
鉻鎳鐵合金＊1螺絲 |
○ |
○ |
|
|
哈氏合金＊2螺絲 |
○ |
○ |
|
|
MAT21 ＊3螺絲 |
○ |
＊1：Inconel是Special Metals Corporation的註冊商標。
＊2：Hastelloy是Haynes International, Inc.的註冊商標。
＊3：MAT、MAT21是Proterial, Ltd.的註冊商標。
塗佈機/顯影劑
成膜過程
需要提高生產能力
在晶圓上形成光刻膠膜所需的高速旋轉使用高剛性耦合。
聯軸器所需特性：高剛性
|
推薦產品 |
|
|---|---|
|
磁盤聯軸器 |
需要部件防腐蝕
可以選擇具有優異耐化學性的螺釘，以承受使用化學品的設備內的環境。
特殊螺絲所需的特性：耐化學性
|
耐熱性 |
耐化學性 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|
|
鉻鎳鐵合金螺絲 |
○ |
○ |
＊1：Inconel是Special Metals Corporation的註冊商標。
半導體光刻設備
光刻工藝
需要提高設備精度
即使在連接處使用小螺釘，也可以通過抑制反射的影響來提高曝光精度。
特殊螺絲所需的特性：抗反射
|
抗反射 |
耐化學性 |
磨損/卡住預防 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|---|
|
低溫黑鉻處理螺絲 |
○ |
○ |
○ |
|
|
黑色不銹鋼螺絲 |
○ |
蝕刻設備
蝕刻工藝
需要耐高溫和耐化學品
對於在高溫下使用各種氣體和溶劑的環境，請選擇耐熱性和耐化學性優異的螺釘。
特殊螺絲所需的特性：耐熱性 耐化學性
|
耐熱性 |
耐化學性 |
真空 |
非磁性 |
高強度 |
輕量級 |
抓住預防 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
陶瓷螺絲 |
○ |
○ |
||||||
|
帶陶瓷蓋帽的螺絲 |
|
○ |
○ |
|||||
|
哈氏合金＊1螺絲 |
○ |
○ |
||||||
|
SUS316L螺絲 |
○ |
○ |
○ |
|||||
|
鈦螺絲 |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
表面硬化螺絲 |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy是Haynes International, Inc.的註冊商標。
必須防止電機損壞
作為防止真空可變電容器通電的對策，需要絕緣性優異的元件。
聯軸器所需特性：絕緣性能
|
推薦產品 |
|
|---|---|
|
真空可變電容耦合器 |
離子注入設備
離子注入工藝
需要提高真空度
通過去除困在螺孔內的空氣，可以進一步提高真空度。
特殊螺絲所需的特性：真空
|
真空 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|
|
帶通風孔的螺絲 |
○ |
需要在高溫下不會磨損的螺絲
我們的螺釘可防止在 1000°C 或更高的環境中因熱循環而磨損。
特殊螺絲所需的特性：耐熱性
|
耐熱性 |
抓住預防 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|
|
表面硬化螺絲 |
○ |
○ |
需要提高設備精度
緊固件應使用非磁性元件，以防止離子由於零件的磁性而偏轉。
特殊螺絲所需的特性：非磁性
非磁性 |
耐化學性 |
高強度 |
輕量級 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
磷青銅螺絲 |
○ |
|
|
||
鈦螺絲 |
○ |
○ |
○ |
○ |
薄膜沉積設備/濺射設備
成膜過程
必須防止電機損壞
作為防止真空可變電容器通電的對策，需要絕緣性優異的元件。
聯軸器所需特性：絕緣性能
|
推薦產品 |
|
|---|---|
|
真空可變電容器聯軸器 |
需要耐高溫和耐化學品
對於在高溫下使用各種氣體的環境，請選擇耐熱性和耐化學性優異的螺釘。
特殊螺絲所需的特性：耐熱性 耐化學性
|
耐熱性 |
耐化學性 |
非磁性 |
高強度 |
輕量級 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
陶瓷螺絲 |
○ |
○ |
||||
|
SUS316L螺絲 |
○ |
○ |
○ |
|||
|
鉬螺絲 |
○ |
|||||
|
哈氏合金＊1螺絲 |
○ |
○ |
||||
|
鎳螺絲 |
○ |
○ |
||||
|
鉻鎳鐵合金＊2螺絲 |
○ |
○ |
||||
|
鈦螺絲 |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy是Haynes International, Inc.的註冊商標。
＊2：Inconel是Special Metals Corporation的註冊商標。
需要提高真空度
通過去除困在螺孔內的空氣，可以進一步提高真空度。
特殊螺絲所需的特性：真空
|
真空 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|
|
帶通風孔的螺絲 |
○ |
物理檢測設備
檢查/評估過程
需要提高真空度
通過去除困在螺孔內的空氣，可以進一步提高真空度。
特殊螺絲所需的特性：真空
|
真空 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|
|
帶通風孔的螺絲 |
○ |
需要提高檢查精度
特殊螺絲所需的特性：非磁性
|
非磁性 |
耐熱性 |
耐化學性 |
高強度 |
輕量級 |
推薦產品 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
樹脂螺絲：PPS |
○ |
○ |
○ |
|||
|
鈦螺絲 |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
|
|
磷青銅螺絲 |
○ |
需要採取螺絲鬆脫和污染的對策
提供一系列非磁性內六角螺絲。
與一字槽和十字槽相比，內六角帽形狀不太可能發生凸輪脫出，從而可以有效防止污染。
64鈦的高強度還可以以更高的扭力擰緊，這使其作為鬆動對策也很有效。
64 種鈦和磷青銅內六角螺絲系列從 M2 開始。
| 圖片 |  |
 |
||
|---|---|---|---|---|
| 零件名稱 | 內六角螺絲 - 高強度鈦合金 |
內六角螺絲 - 磷青銅 |
||
| 零件號 | SNSTG |
SNSP |
||
| 材料 | 64鈦 | C5191(磷青銅) | ||
| 螺紋尺寸 | M2～M10 | M2～M8 | ||
電氣檢測設備
檢查/評估過程
需要提高設備精度
實現更大的伺服電機增益，從而縮短穩定時間。
驅動元件所需特性：高增益支持
|
推薦產品 |
|
|---|---|
|
高增益橡膠聯軸器 |
需要更緊湊的設備
我們有 M2.6 及以下的小直徑螺絲，包括 S0.6 以上和 M1 以上。
特殊螺絲所需的特性：節省空間
|
推薦產品 |
|
|---|---|
|
微型螺絲 |
