發布日期： 2022 年 7 月 6 日
No. 4：電子束和離子
使用電子束和離子的設備
典型的設備示例包括
・電子束光刻設備
・電子束曝光設備
・掃描電子顯微鏡
・離子注入設備
這些設備類型使用大量低磁性部件以避免影響電子束或離子。
同樣，由於電子束在真空環境中使用是為了不與空氣中的分子碰撞，因此許多類型的設備都包括真空室。
對於真空環境，請參見此處
・電子束光刻設備
・電子束曝光設備
・掃描電子顯微鏡
・離子注入設備
這些設備類型使用大量低磁性部件以避免影響電子束或離子。
同樣，由於電子束在真空環境中使用是為了不與空氣中的分子碰撞，因此許多類型的設備都包括真空室。
對於真空環境，請參見此處
NBK提供非磁性產品
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用於避免磁化的位置的工具也是可用的。
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| 材料 | 鉭 | C5191（磷青銅） | 64鈦 | 純鈦 | 鈦 | SUS316L |
| 零件名稱 | 內六角頭螺釘 （鉭） |
六角頭螺栓 - 磷青銅 | 六角螺栓頭螺栓 - 高強度鈦合金 | 六角六角螺栓 - 鈦 | 十字槽平頭機螺絲 - 高強度鈦合金 | 帶特殊薄型的插座頭帽螺絲 - 不銹鋼 |
| 零件號 | SNSTA | SNSP | SNSTG | SNST | SNFTG | 突聾 |
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用於避免磁化的位置的工具也是可用的。
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| 材料 | 64鈦 | CFRTP（碳纖維增強熱塑性樹脂） |
| 零件名稱 | 鈦六角鑰匙 | CFRTP 活動扳手 |
| 零件號 | 斯凱特 | SKMWCP-200 |
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半導體製造過程的問題解決示例
以半導體製造工藝介紹問題解決實例。預處理在這裡
後處理在這裡
“半導體行業和NBK”回號
在這裡列出
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