尺寸圖
單位：毫米
| 零件號 | M（精細） 標稱螺紋 |
瀝青 | H | D 1 | H | 乙 | 結核病 | 推薦扭矩 （N·M） |
SCAP零件號 | 塊 （G） |
電腦輔助設計 下載 |
RFQ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-CE | M5 | 0.5 | 6 | 9 | 2 | 7 | 3 | 0.1 | SNCPS-M3 | 1.2 | CAD | RFQ |
● 對於包含多個相同尺寸物品的訂單，提供批量無塵室包裝。
材料/表面處理
| SCAP-CE 蓋帽 |
|
|---|---|
| 主體 | Al 2 O 3 （99.5％氧化鋁） |
應用
成膜設備，蝕刻設備，FPD生產設備和半導體設備特點
- 結合SCAP蓋帽和用於蓋帽的SNCPS內六角螺釘。
- 這些蓋帽可防止由於真空室處理氣體和等離子體而導致的螺釘頭腐蝕。
-
SCAP有2種材料類型作為標準。
SCAP-AL ----鋁合金
SCAP-CE ----陶瓷 - 螺釘連接部分由不銹鋼製成，因此該產品具有比鋁或陶瓷螺釘更高的緊固強度。
- 潔淨室和潔淨室包裝完成。 ⇒潔淨室/潔淨室包裝服務
- 其他要求的材料，如Inconel * 1和Hastelloy * 1可用於蓋帽。
* 1：Inconel是Special Metals Corporation的註冊商標。
* 1：Hastelloy是Haynes International，Inc。的註冊商標。
使用注意事項
耐腐蝕性根據使用條件而變化。使用前，請務必在與實際條件相同的條件下進行測試。用法
擰緊用於蓋帽的SNCPS內六角螺釘後，裝上SCAP蓋帽，使其覆蓋SNCPS的頭部。確保SCAP的擰緊扭矩不超過圖表中的建議扭矩。
