發佈日期： 2022年10月26日更新日期： 2024年7月30日
第 6 名：熱循環
什麼是熱循環？
根據具體設備的不同，半導體製造設備的內部可能會達到 500° 至 1000° 的高溫。
例如離子注入設備中的離子發生器、光刻設備中的光源等。
同樣，塗層和蝕刻設備在處理晶圓時也可能達到 200° 至 400° 的溫度。
這種設備中溫度的反複變化稱為熱循環。
例如離子注入設備中的離子發生器、光刻設備中的光源等。
同樣，塗層和蝕刻設備在處理晶圓時也可能達到 200° 至 400° 的溫度。
這種設備中溫度的反複變化稱為熱循環。
NBK 提供可用於處理高溫環境和熱循環的螺釘。
＜高溫環境＞可提供耐高溫環境的螺絲。
鎢和純鉬材料具有高熔點（鎢為 3683°C，純鉬為 2623°C）。
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| 材料 | 鎢 | 鉭 | 鉻鎳鐵合金 | 純鉬 | 碳化矽 (SiC) | Al2O3（99.5％氧化鋁） | VESPEL SP-1 |
| 零件名稱 | 開槽奶酪頭機螺釘（鎢） | 內六角螺釘（鉭） | 內六角螺釘-Inconel equiv | 六角六角螺栓 - 鉬 | 開槽盤頭螺釘（碳化矽） | 陶瓷內六角螺栓 | 塑料螺絲 - 內六角螺栓 - VESPEL（等級：SP-1） |
| 零件號 | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
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＜高溫+真空環境＞
真空設備的排氣孔是在耐熱材料上加工的。
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| 材料 | 鉻鎳鐵合金 | 純鉬 |
| 零件名稱 | 內六角螺釘（相當於鉻鎳鐵合金） | 帶通風孔的鉬六角內六角螺釘 |
| 零件號 | SVSI | SVSM |
＜防止卡住＞
可提供在熱循環環境中耐磨損和卡死的螺釘。
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| 材料 | SUS316L | SUS316L | SUSXM7（相當於SUS304） | SUSXM7（相當於SUS304） | SUSXM7（相當於SUS304） | SUSXM7（相當於SUS304） | SUSXM7（相當於SUS304） |
| 零件名稱 | 六角螺栓頭螺栓 - SUS316L /表面硬化處理 | 六角頭螺栓帶通風孔/表面硬化處理 | 內六角螺釘 - MoS2 塗層 | 六角型內六角螺栓 - 低溫黑色鍍鉻 | 內六角螺釘 - PTFE 塗層 | 六角六角螺栓 - 鍍金 | 六角頭螺栓 - 氟塗層 |
| 零件號 | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
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＜防止鬆動＞
提供集成墊圈型螺釘。彈簧墊圈用於吸收熱膨脹並有助於防止鬆動。
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| 材料 | SUSXM7（相當於SUS304） | SUS316L | SUS316L | SUSXM7（相當於SUS304） | SUSXM7（相當於SUS304） |
| 零件名稱 | 六角形內六角螺栓帶有密封墊圈和通風孔 | 帶通風孔的墊圈一體式內六角螺釘 - 高強度不銹鋼 | 墊圈一體式內六角有頭螺釘 - 高強度不銹鋼 | 附防鬆墊圈的內六角螺絲（I=3） | 十字槽盤頭螺絲帶鬆緊墊圈（I=3） |
| 零件號 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | 社會服務品質體系 | SNPI3S |
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| 材料 | TW340（2級鈦） | 相當於SUS304 | 相當於SUS304 |
| 零件名稱 | 附防鬆墊圈鈦內六角螺絲（I=3） | 附防鬆墊圈的六角頭螺絲(P=2) | 附防鬆墊圈的六角頭螺絲(P=3) |
| 零件號 | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
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半導體製造過程的問題解決示例
以半導體製造工藝介紹問題解決實例。預處理在這裡
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“半導體行業和NBK”回號
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耐熱/耐腐蝕
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聯軸器
特殊螺絲
機器元件