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發佈日期： 2022年6月17日更新日期： 2024年10月7日

No. 3：工藝氣體和晶圓清洗劑

半導體製造過程中經常使用工藝氣體（一種特殊的氣體）和清潔劑（用於去除雜質）。

關於這些高腐蝕性化學液體，我們的碳化硅(SiC) 測試數據是免費提供的。


什麼是工藝氣體？

惰性氣體和特殊氣體（統稱為“工藝氣體”）通常用於包括成膜和蝕刻工藝在內的半導體製造工藝中。
有些氣體甚至會腐蝕SUS304等不銹鋼材料。

＜工藝氣體示例＞
甲矽烷 四氯化矽 四氟化矽 CFC-116 五氟化磷
胂 乙矽烷 CFC-218 CFC-32 六氟化鎢
膦 三氟化硼 溴化氫 笑氣 CFC-22
乙硼烷 三氯化硼 氯 三氯矽烷 CFC-123
日耳曼 氯化氫 三氟化氯 四氯化鈦  
二氯矽烷 氨 CFC-14 氟化氫  
硒化氫 三氟化氮 CFC-23 三氟化磷  

什麼是晶圓清洗劑？

還有一些工藝使用特殊的清潔劑來清潔晶圓上的污垢和微小雜質。
SPM（硫酸過氧化氫水溶液）和FPM（氫氟酸過氧化氫水溶液）等清潔劑甚至可以溶解不銹鋼和其他金屬。

＜清洗劑示例＞
SC-1（氨過氧化氫水溶液）
SC-2（鹽酸雙氧水水溶液）
SPM（硫酸過氧化氫水溶液）
FPM（氫氟酸過氧化氫水溶液）
BHF（緩衝氫氟酸溶液）

NBK 提供具有優異耐腐蝕性的耐化學腐蝕螺釘。

它們甚至可以在可能暴露於工藝氣體或晶圓清潔劑的環境中使用。
請參閱此處了解我們的全系列耐化學腐蝕螺釘
*耐化學性隨使用條件而變化。務必事先在與實際條件相似的性能條件下進行測試。

耐化學品螺絲

金屬的
 
材料 鉭 MAT21 ＊1 哈氏合金＊2 C-22 哈氏合金C ＊2 -276 鉻鎳鐵合金＊3 鎳
零件名稱 內六角螺釘（鉭） 內六角螺絲 (MAT21 ＊1 ) 內六角螺絲 - 哈氏合金＊2 C-22 相當 內六角螺絲 - 哈氏合金＊2 C-276 相當 內六角螺絲 -Inconel ＊3當量 六角頭螺栓 - 鎳
零件號 SNSTA SNSMT SNSH-C22 SNSH-C276 SNSI SNSN
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＊1：MAT、MAT21是Proterial, Ltd.的註冊商標。
＊2：Hastelloy是Haynes International, Inc.的註冊商標。
＊3：Inconel是Special Metals Corporation的註冊商標。


 
材料 SUS316L SUS310S 鈦
零件名稱 內六角螺栓 - SUS316L 內六角螺栓 - SUS310S 六角螺栓頭螺栓 - 高強度鈦合金
零件號 SNSL SNSJ SNSTG
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陶瓷/樹脂
 
材料 碳化矽 (SiC) Al2O3（99.5％氧化鋁） PEEK GF30 窺視 PTFE PFA（全氟烷氧基烷烴）
零件名稱 開槽盤頭螺釘（碳化矽） 陶瓷內六角螺栓 塑料螺釘-內六角螺釘-PEEK GF30 塑料螺絲 - 十字槽盤頭機螺絲 - PEEK 塑料螺絲 - 六角頭螺絲 - PTFE 塑料螺絲 - 六角頭螺絲 - PFA
零件號 SICX-SX SCX-C 聚乙二醇 SPE-P SPT-H SPFA-H
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我們的碳化硅(SiC) 耐化學性測試數據可免費獲得。


特殊形狀
 
材料 Al2O3（99.5％氧化鋁） PTFE（聚四氟乙烯） SUSXM7（相當於SUS304） SUSXM7（相當於SUS304）PTFE塗層（僅頭部）
零件名稱 蓋帽 蓋帽 - PTFE 蓋帽用內六角螺栓 六角頭螺釘 - 頭部 PFA 塗層
零件號 SCAP-CE SCAP-PT SNCPS SNHS-HTF
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*與蓋帽（SCAP-CE 或 SCAP-PT）和用於蓋帽的內六角螺釘 (SNCPS) 結合使用。

半導體製造過程的問題解決示例

以半導體製造工藝介紹問題解決實例。
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後處理在這裡

產品介紹 詞彙表 耐熱/耐腐蝕 潔淨室/真空/非磁性 半導體製造設備 半導體行業和NBK 特殊螺絲